アドテックプラズマテクノロジーは、半導体・液晶基板の製造工程に使用されるプラズマ用高周波電源および自動インピーダンス整合装置(マッチングユニット)の設計・製造・販売・技術サービスを提供しています。子会社の株式会社IDXを通じて、研究機関・大学向けに医療・環境・物質科学分野の研究開発用直流電源、パルス電源、マイクロ波電源、超電導電磁石用電源等も手がけています。プラズマ技術の応用を核に、半導体製造装置市場および研究・産業用電源市場において幅広いソリューションを展開しています。
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